6H-SiC单晶的中子辐照损伤及其退火特性研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chen721050780

【摘要】

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用剂量为1.72×1019 n/cm2和1.67×1020 n/cm2的中子对掺氮6H-SiC单晶进行辐照,利用紫外-可见(UV-Vis)吸收光谱等方法研究了辐照引起的晶格损伤及随退火温度的回复过

【作者】

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黄丽阮永丰

【机构】

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运城学院物理与电子工程系,天津大学理学院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2020年10期

【关键词】

：

6H-SIC 中子辐照缺陷晶格损伤退火回复吸收光谱 6H-SiCneutron-irradiationdefectlattice damageannea

【基金项目】

：

国家自然科学基金天文联合基金(U1831102),山西省高等学校科技创新项目(2019L0863),运城学院院级科研项目(CY-2017008)

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用剂量为1.72×1019 n/cm2和1.67×1020 n/cm2的中子对掺氮6H-SiC单晶进行辐照,利用紫外-可见(UV-Vis)吸收光谱等方法研究了辐照引起的晶格损伤及随退火温度的回复过程。结果表明:中子辐照产生的大量缺陷使SiC的光吸收明显增加;光学带隙能随辐照剂量的增加而降低,这与禁带中引入的局域态缺陷能级有关。光吸收边出现强烈的连续吸收可能归因于辐照产生的不同类型缺陷簇或局部非晶区域的光散射。对两个剂量辐照的样品进行室温到1600℃的等时退火,发现两个剂量辐照产生的晶格

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