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生物化学反应和分析过程通常包括样品制备、生物化学和分子生物学反应、检测和数据分析处理几个步骤,将其中的一个步骤或几个步骤微型化集成到一块芯片上就能获得具有特殊功能的生物芯片.生物芯片是借助微电子工业和其他微细加工工业中成熟的微细加工工艺技术(如:光学掩膜光刻技术,反应离子蚀刻,微注入模塑,聚合膜浇注等)进行制造的.