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重频纳秒脉冲激励的大气压等离子体放电具有反应活性高等优点。设计了基于模块化雪崩三极管Marx电路和传输线变压器的重频纳秒脉冲源。计算不同Marx模块的导通时延和输出波形的抖动，研究了磁心数量、位置和形状对于输出波形的影响。磁心电感越大、外径与内径之比越大，且位于传输线变压器第一级和最高一级时对脉冲叠加效率的提升作用越明显。提出直接叠加和传输线变压器两种脉冲叠加方式组合的方法，进一步提高输出电压。整体脉冲源可以在50～300Ω负载产生2～14kV，高阻负载产生4～25kV，前沿3.8ns，脉宽7～15ns，