【摘 要】
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椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术。为了获得微波等离子体化学汽相沉积（MPCVD）金刚石薄膜的最佳沉积条件,用红外椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系,上海联孚新能源科技有限公司,上海西域机电系统有限公司
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椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术。为了获得微波等离子体化学汽相沉积（MPCVD）金刚石薄膜的最佳沉积条件,用红外椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表征测量,并分析了衬底温度和反应室的压强对金刚石薄膜的红外光学性质的影响。当甲烷浓度不变,衬底温度为750℃,反应室的压强为4.0kPa时,金刚石膜的红外椭偏光学性质达到最佳,其折射率的平均值为2.393。研究结果表明,金刚石薄膜的光学性能与薄膜质量密切相关,同时也获得了最佳的金刚石薄膜工艺条件。
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