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简单介绍纳米半导体材料的定义、性质及其在未来信息技术中的地位，分别讨论半导体纳米结构的制备方法与评价技术；对近年来纳米半导体材料和基于它的固态量子器件研制所取得的进展、存在的问题和发展的趋势作扼要的综述，最后，结合国情和我国在该领域的研究现状，提出发展我国纳米半导体材料的战略设想。
纳米半导体材料及其纳米器件研究进展
【摘 要】
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简单介绍纳米半导体材料的定义、性质及其在未来信息技术中的地位，分别讨论半导体纳米结构的制备方法与评价技术；对近年来纳米半导体材料和基于它的固态量子器件研制所取得的进
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年3期
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