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根据纳米压痕仪的特点,对小波变换应用于纳米压痕仪图像的降噪、增强及融合方法进行了阐述。采用纳米压痕仪对单晶Al进行纳米级压痕,利用纳米定位平台原位扫描技术获得了三维图像,使用bior3.3,coif2,sym8分别对所得图像进行降噪、增强、及融合处理。结果表明,利用小波变换对纳米压痕仪图像进行处理是有效的、可行的,图像质量得到明显提高。