【摘 要】
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采用原子层沉积技术在硅表面沉积氧化铝（Al2O3）作为钝化层、掺铝氧化锌（AZO）薄膜作为透明电极,将其应用于有金字塔结构和黑硅结构的光伏电池.通过对反射光谱、电流-电压（J-V）曲线、
【基金项目】
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国家自然科基金项目(61204074,91233208)
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采用原子层沉积技术在硅表面沉积氧化铝（Al2O3）作为钝化层、掺铝氧化锌（AZO）薄膜作为透明电极,将其应用于有金字塔结构和黑硅结构的光伏电池.通过对反射光谱、电流-电压（J-V）曲线、外量子效率等测试,比较平面硅、金字塔绒面硅和黑硅3种不同材料结构电池的光电性能.通过在金字塔结构硅表面沉积10次循环的Al2O3作为钝化层,180nm厚的AZO作为透明电极,光电转换效率达到11.23%,短路电流28.72mA/cm^2,开路电压0.548V,填充因子0.71.将该钝化层和透明电极应用于黑硅电池上获得了8.
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