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简述909工程高纯气体管道系统设计中气体管道材料的选用,及设计对管道的施工安装,试压及验收的要求。
909工程超大规模集成电路厂房高纯气体管道的应用
【摘 要】
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简述909工程高纯气体管道系统设计中气体管道材料的选用,及设计对管道的施工安装,试压及验收的要求。
【机 构】
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上海电子工程设计研究院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2004年01期
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