家登精密推出以VICTREX~ ESD PEEK~聚合材料为基材的晶舟,与英国威格斯共同携手进入半导体制程设备产业供应链

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：janemini

【摘要】

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VICTREX PEEK聚合材料、VICOTE涂料和APTIV？薄膜等高性能材料的领先全球制造商英国威格斯公司（Victrex plc）日前宣布,世界领先光罩全方位解决方案供应商家登精密工业股份有限公

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2008年4期

【关键词】

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半导体企业 PEEK 制程设备聚合材料 ESD 供应链基材产业

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VICTREX PEEK聚合材料、VICOTE涂料和APTIV？薄膜等高性能材料的领先全球制造商英国威格斯公司（Victrex plc）日前宣布,世界领先光罩全方位解决方案供应商家登精密工业股份有限公司（Gudeng Precision Industrial Co.,LTD）已成功开发与量产以VICTREX ESD PEEK聚合物为基材的200mm晶舟（wafer cassette）。这款半导体制程设备通常由美日厂商提供，家登精密的研发成功并投入量产代表着台湾半导体制程设备产业迈入了新的里程碑。由本地研发

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