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Ｔａｙｌｏｒ Ｈｏｂｓｏｎ公司最近已将相位光栅干涉计（ＰＧＩ）投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为１０ｍｍ和１３ｕｍ，它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论ＰＧＩ计的工作方式及其主要性能。
相位光栅干涉计
【摘 要】
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Ｔａｙｌｏｒ Ｈｏｂｓｏｎ公司最近已将相位光栅干涉计（ＰＧＩ）投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为１０ｍｍ和１３ｕｍ，它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论ＰＧＩ计的工作方式及其主要性能。
【机 构】
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GuidanceControlSystemsLtd,ClockhillWharfe,Warks,UK,TaylorHobsonLtd,Leicester,UK
【出 处】
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国防科技参考
【发表日期】
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1997年3期
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