【摘 要】
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在激光步进扫描投影成像设备中,高精密工作台则是系统中的一个重要组成部分。精密工作台系统包括宏动工作台和精动系统,宏动工作台包括精密机械及其传动系统,直线电机和步进
【机 构】
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广东工业大学物理与光电工程学院,广东工业大学物理与光电工程学院,广东工业大学物理与光电工程学院 广东广州510006,广东广州510006,广东广州510006
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在激光步进扫描投影成像设备中,高精密工作台则是系统中的一个重要组成部分。精密工作台系统包括宏动工作台和精动系统,宏动工作台包括精密机械及其传动系统,直线电机和步进伺服电机驱动系统及计算机控制系统;精动系统包括压电陶瓷驱动和执行放大以及计算机控制系统。由激光测长控制系统提供宏、精动系统的超精密位置检测和闭环反馈。
In the laser stepper projection imaging equipment, high precision workbench is an important part of the system. The precision worktable system includes the macro worktable and the fine movement system. The macro worktable includes the precision machinery and its transmission system, the linear motor and the stepper servo motor drive system and the computer control system; the fine movement system includes the piezoelectric ceramic drive and the execution Zoom and computer control system. By the laser length measurement control system to provide macro, precision system ultra-precision position detection and closed-loop feedback.
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