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薄膜精密连接的目的是实现同种或异种微米、亚微米级材料间没有不同于母相材料引入的可靠连接，同时要确保连接后组件的表面粗糙度、厚度一致性、连接界面以及尺寸与空间形位关系等满足设计的精密性要求。由于它是诸多功能器件如惯性约束聚变微靶、薄膜集成电路、微机电系统（MEMS）等制造的关键技术之一，所以受到了高精密制造业的普遍重视。传统的连接技术如扩散连接、钎焊、以及黏接等，往往很难满足要求。