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期刊论文
正性小分子光刻胶的制备探索
正性小分子光刻胶的制备探索
来源 :四川理工学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:fang514
【摘 要】
:
以硬脂酸、邻硝基苄醇为原料,合成了硬脂酸邻硝基苄酯,并在高压汞灯下曝光、显影,证明了以邻硝基苄醇作为光敏基元制备正性小分子光刻胶的可行性。
【作 者】
:
梁倩倩
王惟
谌星伊
董秋静
汤嘉陵
【机 构】
:
四川大学高分子科学与工程学院
【出 处】
:
四川理工学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
硬脂酸
邻硝基苄醇
正性小分子光刻胶
stearic acid
2-nitrobenzyl alcohol
positive micromolecule p
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以硬脂酸、邻硝基苄醇为原料,合成了硬脂酸邻硝基苄酯,并在高压汞灯下曝光、显影,证明了以邻硝基苄醇作为光敏基元制备正性小分子光刻胶的可行性。
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