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聚焦离子束系统(focus ion beam,FIB)作为一种成熟的材料加工技术,在磁性材料的加工中得到广泛应用。然而,在利用FIB对磁性材料的加工过程中,难免会因为离子的辐照对样品产生影响。本文以CoFeB薄膜为研究对象,研究辐照强度对样品磁性质的影响。对于利用离子束辐照来调控薄膜性质具有指导意义。