【摘 要】
：
高数值孔径(NA)、大视场极紫外光刻物镜光学系统是实现22 nm及以下技术节点产业化光刻系统的关键部件。通过对光刻物镜系统结构的分析,利用可视化对其初始结构进行分组构造。
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,
论文部分内容阅读
高数值孔径(NA)、大视场极紫外光刻物镜光学系统是实现22 nm及以下技术节点产业化光刻系统的关键部件。通过对光刻物镜系统结构的分析,利用可视化对其初始结构进行分组构造。并在此基础上采用一种渐近式NA方法获得了弦长为26 mm,宽2 mm的弧形视场内复合波像差优于均方根(RMS)为λ/50的物镜系统。借助Q型多项式,使物镜光学元件非球面度低于45μm,最大口径小于400 mm,全视场波像差优于0.027λRMS,畸变优于1.5 nm。
其他文献
探讨薏苡仁酯（coixenolide,CXL）对同源不同辐射抗性鼻咽癌细胞增殖及凋亡的影响,探讨其可能的作用机制。采用CCK-8法、DAPI染色法及流式细胞术检测CXL作用后CNE-2R和CNE-2细胞
现阶段,中小企业在经济体中发挥着越来越重要的作用,但是与此同时,中小企业的快速发展也存在着诸多问题。其中内部控制与风险管理是问题之一,本文以分析中小企业目前存在的问
[目的]观察张曾譻主任验方＂心脑血脉宁＂治疗甲状腺功能减退症的干预效果。[方法]纳入符合标准的患者,将其分为心脑血脉宁低剂量组、心脑血脉宁高剂量组、单纯甲状腺素片对照组
随着中俄跨文化交际的日益频繁,越来越多人开始关注两国的文化差异,其中饮食文化不容忽视。由于地理位置、自然环境、历史政治等差异,中俄两国形成了独具特色的饮食文化。交
目的探讨电针对高血脂合并脑缺血大鼠血脂及脑梗死体积的影响,并初步探讨其作用机制。方法 78只SD大鼠随机分为正常组(各n=6),模型组、假手术组、电针1组、电针2组(n=18)。除
本刊八月号‘书刊评介’栏中发表的‘注意儿童阅读小人书的指导工作’一文的内容,是陈沙从‘文艺报’五十五期陈肃的文章上抄袭来的,经读者指出,我们方才发现,这说明我们的工
乳腺炎是繁殖母犬的常见疾病，多发于哺乳期，因机械的损伤等原因而感染病原微生物引起乳房红肿疼痛的疾病。一、病因母犬乳房炎的直接病原有葡萄球菌、链球菌、大肠杆菌等病原微