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分析了监控光带宽对薄膜淀积时膜厚极值点的影响,建立了模拟薄膜实际淀积过程的计算机模拟程序,通过对几种窄带滤光片膜系结构的模拟分析,得到了这些膜系对监控光带宽的基本要求.
监控光带宽对真空蒸镀窄带滤光片的影响
【摘 要】
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分析了监控光带宽对薄膜淀积时膜厚极值点的影响,建立了模拟薄膜实际淀积过程的计算机模拟程序,通过对几种窄带滤光片膜系结构的模拟分析,得到了这些膜系对监控光带宽的基本
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉电信器件公司
【出 处】
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华中科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2001年6期
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