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当精密硅片磨床处于空载和模拟工作两种工况时，在磨床多进行位移、速度、加速度度的测试。根据故障诊断的相关函数分析方法，应用ＣＤＭＳ信号处理故障诊断与振动分析系统，从理和实验两个方面分析，推断出该设备工件台平观轴承为主要故障所在。
精密硅片磨床的故障诊断
【摘 要】
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当精密硅片磨床处于空载和模拟工作两种工况时，在磨床多进行位移、速度、加速度度的测试。根据故障诊断的相关函数分析方法，应用ＣＤＭＳ信号处理故障诊断与振动分析系统，从理和实验两个
【机 构】
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电子科技大学,电子部第二十四所
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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1995年1期
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