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介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。
Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用
【摘 要】
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介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2014年12期
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