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,Resonance-mode effect on piezoelectric microcantilever performance in air, with a focus on the tors
【机 构】
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Saarland University, Chair of Micromechanics,Microfluidics/Microactuators, 66123 Saarbrücken, German
【出 处】
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中国物理B（英文版）
【发表日期】
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2014年2期
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