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射频电感耦合等离子体在横向磁场中扩散的研究
射频电感耦合等离子体在横向磁场中扩散的研究
来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pootcat
【摘 要】
:
通过轴向移动朗缪尔探针,考察了外置电磁铁提供的横向磁场对射频感应耦合等离子体(ICP)延轴向扩散过程中的电子温度、离子密度的影响。实验数据表明,与无磁场条件下的结果相比,
【作 者】
:
陈浩
雷光玖
李明
黄丽萍
【机 构】
:
核工业西南物理研究院
【出 处】
:
核聚变与等离子体物理
【发表日期】
:
2018年1期
【关键词】
:
射频负离子源
等离子体扩散
横向磁场
电子温度
离子密度
【基金项目】
:
国家自然科学基金(11320101005)
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通过轴向移动朗缪尔探针,考察了外置电磁铁提供的横向磁场对射频感应耦合等离子体(ICP)延轴向扩散过程中的电子温度、离子密度的影响。实验数据表明,与无磁场条件下的结果相比,横向磁场的加入使得扩散区内的电子温度沿轴向迅速下降,研究了横向磁场对电子的过滤作用。
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