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采用准分子激光扫描消融法淀积ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，利用常规光刻工艺制备线列高温超导薄膜器件，采用离子束刻蚀制备与高温超导薄膜器件匹配的熔凝石英微透镜阵列，测试了微透镜／高温超导薄膜器件所构成的混合结构在１￣５μｍ红外波段的几项重要的光响应特性。
组合式熔凝石英微透镜阵列-线列Yba_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜红外探测器的研究
【摘 要】
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采用准分子激光扫描消融法淀积ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，利用常规光刻工艺制备线列高温超导薄膜器件，采用离子束刻蚀制备与高温超导薄膜器件匹配的熔凝石英微透镜阵列，测试了微透镜／高温超
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系,陕西青华机电研究所
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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1999年5期
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