【摘 要】
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在双频激光干涉测量系统中，Wollaston棱镜是不可缺少的重要光学元件，它可将双频激光按偏振方向分为测量光和参考光，从而实现高精度测量；但是，如果Wollaston棱镜的安装方位相对入射
【机 构】
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在双频激光干涉测量系统中，Wollaston棱镜是不可缺少的重要光学元件，它可将双频激光按偏振方向分为测量光和参考光，从而实现高精度测量；但是，如果Wollaston棱镜的安装方位相对入射光线方向以及与聚焦透镜距离不同时，测量结果将会不同。本文结合表面粗糙度激光测量系统，从理论上定量分析了Wollaston棱镜的安装方位对测量精度的影响。
In dual-frequency laser interferometry systems, the Wollaston prism is an indispensable and important optical component that separates the dual-frequency laser into measuring light and reference light in the direction of polarization for high-precision measurements; however, if the Wollaston prism orientation Relative to the incident light direction and distance from the focusing lens, the measurement results will be different. In this paper, combined with the surface roughness laser measurement system, the quantitative analysis of the Wollaston prism mounting accuracy on the measurement accuracy.
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