研制了一套基于现场总线技术的GaAs光电阴极多信息量测试系统,该系统可在线测试和保存阴极制备过程中的大部分信息量,如激活系统的真空度、阴极光电流、光谱响应曲线、Cs源和O源电流等。实验测试了GaAs光电阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线,分析发现,高温净化时有几个真空度下降较快的区域,为160℃~280℃、400℃~500℃、570℃~600℃,分别是由于AsO的脱附和水分的蒸发、As2O3分解和Ga2O脱附、GaAs和Ga2O3的分解所致,低温净化真空度在370℃后下降较快,这是由于吸附在阴极表面的Cs脱附速度加快造成的。实验还测试了激活过程中多种信息量的变化,发现了真空度和光电流随Cs源和O源电流的变化规律,这些大大方便了对激活工艺进行深入细致的分析研究。