宽束冷阴极离子源的工作特性研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:louqiangdj
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介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的改进的宽束冷阴极离子源,详细叙述了该源的工作原理和放电过程,并对离子源的工作特性进行了研究。结果表明,这种离子源可以在4.5×1013Pa的高真空度下长期稳定工作,在4.5×10^-3Pa~9.7×10^-3Pa的真空度范围内,离子源的放电电压为400V-1200V。采用法拉第筒测试的离子束流密度约为0.5ma/cm^2~2.5mA/cm^2。五栅网测试的离子能量表明,当放电电压650V时,离子能量为600eV~1600eV,其值大小随引
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