【摘 要】
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利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像。结果发现：在合适的低加速电压下，样品可以直
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利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像。结果发现：在合适的低加速电压下，样品可以直接观察，不需喷金处理，而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富，更清晰；能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显，可以有效消除荷电现象和各种假象。
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