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采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时，如果样品高度选择不好，会导致测得的光电子峰强度降低．而对于一些电子结合能较高的元素，其光电子峰会变宽，有时出现双峰．分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点．
样品高度对XPS测试的影响
【摘 要】
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采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时，如果样品高度选择不好，会导致测得的光电子峰强度降低．而对于一些电子结合能较高的元素，其光电子峰会变宽，有时出现双峰．分析了该
【机 构】
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中国科学院化学研究所
【出 处】
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分析测试技术与仪器
【发表日期】
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2013年4期
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