【摘 要】
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本文给出了采用硅各向异性腐蚀的阳极氧化自动终止技术研制微压方膜、圆膜硅杯的技术方案,讨论了器件表面SiO_2与Al膜厚对微压传感器零位温漂的影响规律及其应采取的工艺措施
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本文给出了采用硅各向异性腐蚀的阳极氧化自动终止技术研制微压方膜、圆膜硅杯的技术方案,讨论了器件表面SiO_2与Al膜厚对微压传感器零位温漂的影响规律及其应采取的工艺措施。
In this paper, the technical scheme for the development of micro-pressure square film and round-film silicon cup by using anodic oxidation of silicon anisotropic etching technology is presented. The influence of SiO2 and Al film thickness on the zero temperature drift of micro-pressure sensor is discussed. And the technical measures it should take.
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