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利用电力电子和脉冲功率技术相结合研制了一台高频高压电源，用于介质阻挡放电产生低温等离子体。该电源利用电容储能技术，通过控制IGBT的通断对电容进行快速放电，形成高频脉冲，再通过高频变压嚣升压，实现高频高压输出。实验结果表明，利用该电源所产生的介质阻挡放电，其放电均匀，实验装置所耗功率小，所产生的低温等离子体有着广阔的应用前景。