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简述了ITO薄膜的各种性能和主要应用,综述了国内外ITO靶材的主要成形、烧结工艺及其研究现状,概括了ITO靶材的发展趋势。
高致密ITO靶材制备工艺的研究现状和发展趋势
【摘 要】
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简述了ITO薄膜的各种性能和主要应用,综述了国内外ITO靶材的主要成形、烧结工艺及其研究现状,概括了ITO靶材的发展趋势。
【机 构】
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昆明理工大学稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室云南省新材料制备与加工重点实验室,
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2012年24期
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