【摘 要】
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目的提升钽酸锂晶圆的加工效率和表面质量。方法采用8000#金刚石和树脂结合剂热压制成金刚石丸片,并拼接成固结磨盘,研磨钽酸锂。针对丸片配方的砂结比展开研究,设置3组砂结比变量11∶9、7∶3、17∶3,对应磨粒的质量分数分别为55%、70%、85%。通过单个磨粒晶胞模型计算磨粒裸露比,即单位面积内磨粒裸露数与总磨粒数的比值(Ng/N)。分析不同砂结比下磨粒与结合剂的分布状态变化,以及对加工钽酸锂晶圆表面粗糙度和材料去除率的影响规律。结果3组磨粒质量分数55%、70%、85%制作的金刚石丸片,其磨粒裸露比分
【机 构】
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浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
【基金项目】
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浙江省公益技术研究项目(LGG19E050021),国家自然科学基金(51605440,51905485,U1604254),中国博士后科学基金(2017M621966)。
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目的提升钽酸锂晶圆的加工效率和表面质量。方法采用8000#金刚石和树脂结合剂热压制成金刚石丸片,并拼接成固结磨盘,研磨钽酸锂。针对丸片配方的砂结比展开研究,设置3组砂结比变量11∶9、7∶3、17∶3,对应磨粒的质量分数分别为55%、70%、85%。通过单个磨粒晶胞模型计算磨粒裸露比,即单位面积内磨粒裸露数与总磨粒数的比值(Ng/N)。分析不同砂结比下磨粒与结合剂的分布状态变化,以及对加工钽酸锂晶圆表面粗糙度和材料去除率的影响规律。结果3组磨粒质量分数55%、70%、85%制作的金刚石丸片,其磨粒裸露比分
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