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介绍了体内微机电系统空心线圈电感的计算,主要对非同轴的线圈互感计算进行详细研究,分析了初次级线圈主要几何参数如轴向和径向距离、夹角、线圈半径等对互感的影响.计算结果表明:轴向距离和径向距离增大,互感均减小,但轴向距离对互感的影响要大得多;夹角越大,互感减小,夹角为90°时,互感几乎为0;当线圈半径变化时,互感有个最大值.同时给出一种三轴移动测试平台,可以快捷精确地调节线圈间的轴向径向距离和夹角,在此基础上建立了互感测试系统,测试结果与计算值是相符合的.