【摘 要】
：
采用磁控溅射技术结合等离子体气相沉积技术,通过调节CH4与Ar的气体流量比例,获得了不同Cu含量的Cu/a-C:H复合薄膜.采用XPS、Raman等表征方法分析了不同气体流量比对Cu在复合
【机 构】
：
太原理工大学 新型碳材料研究院,山西 太原 030024
论文部分内容阅读
采用磁控溅射技术结合等离子体气相沉积技术,通过调节CH4与Ar的气体流量比例,获得了不同Cu含量的Cu/a-C:H复合薄膜.采用XPS、Raman等表征方法分析了不同气体流量比对Cu在复合薄膜中的存在形式及薄膜结构的影响,利用纳米压痕仪测量了复合薄膜的硬度与弹性模量,采用往复式摩擦磨损试验机、白光干涉仪、FESEM等分析了复合薄膜在空气中的摩擦学性能及相关机理.结果表明:随着CH4在混合气体中所占比例增加,复合薄膜中sp2 C含量升高,Cu含量降低,Cu晶粒的尺寸变小,复合薄膜的硬度逐渐升高,韧性降低.CH4气体流量比为60％、Cu含量为6.68at％的复合薄膜具有较高的硬度、良好的韧性以及在空气中最低的摩擦因数(0.091)与磨损率(1.77×10-6 mm3·N-1·m-1),这与复合薄膜中sp2C含量及Cu纳米粒子的尺寸和含量有关.
其他文献
利用光学显微镜(OM)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)配合能谱仪(EDS)和X射线光电子能谱(XPS)研究了2205双相不锈钢热轧板经过退火和喷丸处理后的氧化层组成和结构,并分析了
利用高温蒸汽氧化试验装置对比研究P92、G115钢以及喷丸的G115钢的高温蒸汽氧化行为,结果表明,这3个试样的650℃蒸汽氧化动力学曲线符合ΔW=ktn规律.相同蒸汽氧化时间下G115
“如果她早听我的,早就当总理了”,说这话的人是德国总理耿克尔的御用发型师乌多·瓦尔兹。默克尔“更具魅力了”,几乎在一夜之间成了媒体的宠儿;而此前,她被讥笑“像足不出
在社会上,一直有“霍英东朝鲜战争时期靠走私发家”这样的传言。2006年10月,83岁的霍英东在北京去世,这一传言的真实性再次成为人们热议的话题。殊不知,早在其80大寿前夕,一
用真空感应熔炼法制备了CoCrFeNiCu高熵合金,研究了不同退火温度对合金组织及力学性能的影响.结果表明,铸态CoCrFeNiCu合金具有双FCC相结构,分别为富Cu相和贫Cu相,而且相分离
目的：探讨床旁连续血液滤过在重症急性胰腺治疗中的意义。方法：对27例重症急性胰腺患者入院后均采取常规治疗，血液滤过组在常规治疗的基础上行CWH治疗。两组患者均在治疗前
通过CLSM、OM和SEM等测试方式,研究了GH4169合金铸态组织和均匀化热处理工艺对晶粒尺寸、析出相、氧化层厚度以及溶质元素均匀性的影响.研究表明,铸态组织枝晶间存在Laves相
本文就广义痴呆的表现、分类、流行病学、发病高危因素、检查及诊断标准、药物防治及治疗进行综述，并对血管性痴呆作了进一步探讨。
采用二次加热淬火和低温回火工艺改善?120 mm锻造耐磨钢球的使用性能,研究了二次加热淬火工艺中不同升温速率和淬火冷却时间对钢球硬度分布、冲击性能和显微组织的影响.得出