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建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型,利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析,并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化.
光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计
【摘 要】
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建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型,利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析,并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化.
【机 构】
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西安交通大学电信学院电子工程系,西安交通大学电信学院电子工程系,广东省肇庆市风华路18号风华电子城研究中心二楼
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2002年1期
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