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镱材料具有压阻特性,其压阻系数比锰铜、碳等压阻材料要高得多.本文介绍了利用这一特性设计制作的箔式镱大压力传感器,并介绍了其工作原理和设计制作中的关键要点,以及在工艺上需解决的关键问题.
箔式镱大压力传感器的设计与制作
【摘 要】
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镱材料具有压阻特性,其压阻系数比锰铜、碳等压阻材料要高得多.本文介绍了利用这一特性设计制作的箔式镱大压力传感器,并介绍了其工作原理和设计制作中的关键要点,以及在工艺
【机 构】
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洛阳61489部队7分队,北京理工大学
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2004年7期
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