深亚微米ULSI工艺检测技术——扫描探针显微镜

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【摘要】

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扫描探针显微镜(SPM)是80年代发展起来的一种具有超高空间分辨率的显微技术.扫描探针显微镜功能强大,在表面科学、生命科学、微电子工业等许多领域得到广泛的运用.随着集成电

【作者】

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王家楫唐凌

【机构】

：

复旦大学国家微分析中心

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2002年2期

【关键词】

：

SPM ULSI 微分析扫描探针显微镜深亚微米工艺检测技术 SPM ULSI microanalysis

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扫描探针显微镜(SPM)是80年代发展起来的一种具有超高空间分辨率的显微技术.扫描探针显微镜功能强大,在表面科学、生命科学、微电子工业等许多领域得到广泛的运用.随着集成电路的线宽进入深亚微米阶段,扫描探针显微镜在ULSI工艺表征中显得日益重要.本文将介绍扫描探针显微镜及其在微电子工艺和器件微分析中的应用.

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