论文部分内容阅读
非单向流洁净室需供给足够的洁净风量,以稀释和排走在操作及工艺过程产生的尘埃,从而维持洁净室所要求的洁净度,所以送风量的合理确定是洁净室工程设计的重要环节。目前国内常见的理论计算式中虽然包括了一些相关制约因素,可作为定性分析的参考,但在实际工程设计中难于运用。多年来ISO 5级以下的洁净室一般都是依据相关技术指南及工程经验按常规换气次数取值。几十年来国内数以百万平米计的洁净室工程实践证明,这些用于设计的经验数值是实用和可信的。特别指出以国内常见的理论计算式来否定早期国外学者所推导的简约理论式有欠妥当。通过一