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本文采用溶胶凝胶法制备了稀土元素镧、铕、镨掺杂的二氧化钛薄膜。掺杂量为1mol%,热处理温度分别为500℃,700℃,1000℃。利用分光光度计测定了样品的吸光度曲线,分析稀土元素掺杂和温度对可见光吸收的影响。利用x射线衍射(XRD)、拉曼光谱法和原子力显微镜(AFM)对TiO2薄膜的结构和形貌进行了分析表征。结果显示:稀土元素Pr、Eu、La掺杂可以拓宽TiO2薄膜的吸收波长范围,并观察到在高温下无明显金红石相的生成。这说明了掺杂稀土元素所制得TiO2薄膜在紫外光范围吸光性良好,并且对高温下锐钛矿相向金