【摘 要】
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介绍光纤预制棒生产中的重要设备——外部气相沉积(OVD)设备的研究以及设计制造。研讨了气柜、车床沉积腔、运动机构、蒸发器、控制系统等各部分的功能和技术要求,阐述了相关
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介绍光纤预制棒生产中的重要设备——外部气相沉积(OVD)设备的研究以及设计制造。研讨了气柜、车床沉积腔、运动机构、蒸发器、控制系统等各部分的功能和技术要求,阐述了相关的实现方法,其中重点介绍了OVD设备核心部件蒸发器与其控制系统。实际生产中,自行设计制造的OVD设备各项性能优异,尤其是流量与压力稳定性、沉积速率和沉积效率等主要性能均优于同类进口设备。
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