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针对气体配比过程中因气体压力或温度波动而造成的配比精度不高和稳定性差等问题,将质量流量控制器应用于气体混合配比装置中,对毛细管传热温差量热法原理和气体配比通路结构进行了研究,建立了完整的智能气体混合配比控制系统,提出了一种基于质量流量控制方法的智能气体动态混合配比方法,并完成了装置的电路和结构设计,该装置具有精度高、稳定性好、响应迅速和实用性强等特点。