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自行研制紫外微加工系统，系统有效工作范围120mm×120mm，最小加工线宽80um，系统操作简单、运行稳定高效．实验中完成对Nd：YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F—Theta平场透镜设计．实现波长355nm紫外激光最高平均功率2．13w稳定输出，1h内输出功率波动小于7％；XY振镜最大扫描角度±28°，线性响应速度0．35-0．5ms；F—Theta视场角为±1：25°，有效焦距为250mm．最后对系统存在的问题进行了分析。