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在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向.
微电子机械系统中多能量场耦合问题仿真分析
【摘 要】
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在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多能量场耦合仿真问题的各种数值分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究
【机 构】
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西北工业大学(西安)
【出 处】
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中国力学学会第六届全国细观力学学术会议
【发表日期】
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2001年11期
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