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利用实验室自行设计了直接耦合式微波等离子体化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）金刚石膜装置，并在石英管反应腔加上磁镜场来更好的约束等离子体，使等离子体球成为“碟盘”状，使沉积面积大、性能稳定、减少在石英管壁和观察窗的沉积，从而有效的提高电离的活性基团利用率，沉积出高质量的（类）金刚石膜．