Application of Combined α-RBS and PIXE Analysis Technology

来源 :Rare Metals | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangzhibo0508

【摘要】

：

An analysis technique combining RBS with PIXE technology by x-particles incident beam was constructedand applied to analyse light impurities in heavier substrat

【作者】

：

夏琮璜沈定予李硕中刘士杰王江胡朝晖

【机构】

：

Dept.ofTechnicalPhysicsPekingUniversity,Beijing100871,China,Dept.ofTechnicalPhysics,PekingUniversity

【出处】

：

Rare Metals

【发表日期】

：

1992年2期

【关键词】

：

RBS PIXE CHANNELING MODE ION IMPLANTATION GAAS RBSPIXEChanneling modeIon Implant

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An analysis technique combining RBS with PIXE technology by x-particles incident beam was constructedand applied to analyse light impurities in heavier substrates.It can run in measuring Rutherford backscatteringand X-ray spectra in random and channeling

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