【摘 要】
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由弹性薄膜和电致伸缩微位移器构成的微进给定位机构,将在超精密加工和测试装置中得到广泛的应用,本文给出了该种结构的设计方法并对其性能进行分析。
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由弹性薄膜和电致伸缩微位移器构成的微进给定位机构,将在超精密加工和测试装置中得到广泛的应用,本文给出了该种结构的设计方法并对其性能进行分析。
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