【摘 要】
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用60年代德国产的Leitz万能测量机(UMM)与激光干涉仪组合成激光长度测量系统对步距规进行校准,分析其不确定度的来源,并进行评定。
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用60年代德国产的Leitz万能测量机(UMM)与激光干涉仪组合成激光长度测量系统对步距规进行校准,分析其不确定度的来源,并进行评定。
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