配以微光具和微机械的微型系统

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一、微型光-电-机械装置1.微型光-电-机械(MOEM)自适应光学 系统(特邀文章,R.L.Clark等,美国SY 技术公司)2.与位置敏感探测器集成的激光器孔径(K. S.Brar等,美国圣乔治州立大学)3.采用薄片焊接的表面微机械加工可调共振 腔发光二极管(G.L.Christenson等,美 国Cornell大学) Micro-opto-mechanical devices 1. MOEM adaptive optics (guest article, RLClark et al., SY Technologies, USA) 2. Laser aperture integrated with position-sensitive detectors KSBrar et al., St. George State University, USA) 3. Tunable Cavity Light Emitting Diode (GLChristenson et al., Cornell University, USA)
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