【摘 要】
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本文简述化学汽相沉积氧化铝作为热子绝缘层的工艺和一些性能。由于它纯度高,具有半透明、粗糙、坚硬、耐磨、抗震并和钨丝结合牢固等特点,所以这种绝缘层的热子工作温度低,
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本文简述化学汽相沉积氧化铝作为热子绝缘层的工艺和一些性能。由于它纯度高,具有半透明、粗糙、坚硬、耐磨、抗震并和钨丝结合牢固等特点,所以这种绝缘层的热子工作温度低,并能在强磁场和其它恶劣条件下工作。通过在管内使用,说明这种热子绝缘层在磁控管内有较明显的优点。随着电子器件的品种类型的不断增加,对管内元件材料也就不断提出更苛刻的要求,其中之一就是要求牢固、抗震的热子绝缘层,为此我们开展了研制化学汽相沉积氧化铝热子绝缘层的工作。解剖使用了100多小时的反同轴磁控管发现,化学汽相沉积氧化铝热子仅有微量蒸发,而电泳氧化铝涂层几乎不能在这种管内工作。本文介绍化学汽相沉积氧化铝的工艺、绝缘层性能和目前存在的一些问题。
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