【摘 要】
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进行了烧结、轧制工艺对比试验，研究了粉末粒度、形貌和烧结工艺对大型钼烧结板坯组织和性能的影响；轧制方式对LCD溅射靶材用大尺寸钼板微观组织、织构以及性能的影响，探讨了影
【机 构】
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西安瑞福莱钨钼有限公司宝鸡分公司,西北有色金属研究院
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进行了烧结、轧制工艺对比试验，研究了粉末粒度、形貌和烧结工艺对大型钼烧结板坯组织和性能的影响；轧制方式对LCD溅射靶材用大尺寸钼板微观组织、织构以及性能的影响，探讨了影响LCD溅射靶材用大尺寸钼板组织、织构及性能的主要因素。结果表明：制备大型烧结钼板坯可选用颗粒大小较为均匀、分布疏松、粗细搭配合理的中等粒度钼粉；相比普通钼板坯而言，通过延长保温时间，1900℃高温氢气中频烧结，可制备轧制大尺寸钼靶材用大型钼板坯；LCD溅射靶材用大尺寸钼板轧制总加工率需大于70％；采用1火次多道次单向轧制工艺，正常轧制的L
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