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产品的小型化、微型化是21世纪产品发展的主要趋势之一。微小零件、微小装置在半导体工业、生物技术、微电子工业、远程通讯以及医疗行业中得到越来越广泛的应用。微细加工技术是实现产品零部件微型化基本技术，受到越来越多的关注。LIGA技术於20世纪80年代由德国卡尔斯鲁尔核研究中心开发而成。
用于微球面加工的热熔回流技术
【摘 要】
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产品的小型化、微型化是21世纪产品发展的主要趋势之一。微小零件、微小装置在半导体工业、生物技术、微电子工业、远程通讯以及医疗行业中得到越来越广泛的应用。微细加工技
【出 处】
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电子电路与贴装
【发表日期】
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2011年4期
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