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本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况。详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况。系统分析了ITO溅射靶制造技术方面的专利。
ITO溅射靶材国内外研究状况
【摘 要】
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本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况。详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况。系统分析了ITO溅射靶制造技术
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七二五研究所
【出 处】
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材料开发与应用
【发表日期】
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2010年1期
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